一、多路氣體配置、配氣、混氣流量的控制柜/箱 產(chǎn)品概述：

        -- 主要用于多種氣體混合配氣；外觀簡潔、體積小，操作簡單、靈活；

        -- 可配置多條氣路，每條氣路可單獨配置氣體質量流量控制器（MFC)；

                       （我司的氣體流量控制器量程范圍：0~2SCCM~6000SLM)；

        -- 集成了嵌入式觸摸控制顯示屏，控制每個氣路的流量；

        -- 操作靈活、可塑性強，可以根據(jù)需求調整、更換每個氣路的氣體流量控制器；

        -- 箱體內的氣體流量控制器，可根據(jù)實際需求選配；

        -- 連接管路采用不銹鋼(可根據(jù)實際需求配置成軟管）；

        -- 耐壓 3Mpa，10Mpa（更高壓力請具體溝通）

二、多路氣體配置、配氣、混氣流量的控制柜/箱 主要適用于：

            多氣路氣體流量控制，氣體配氣、氣體配置、稀釋、混氣等使用場景。

        （ 如需個性化定制，請另行咨詢溝通）